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四極質(zhì)譜計(jì)由離子源、分析器以及收集器三大部分組成。其中離子源一般采用碰撞型離子源，由燈絲、反射極、陽(yáng)極組成；分析器由四根對(duì)稱排列的雙曲面四極桿組成，相對(duì)的兩根電極相連得到兩組電極；離子收集極則有采用法拉第筒直接收集，也有采用電子倍增器倍增后收集的。
四極質(zhì)譜計(jì)的工作原理：離子源中的燈絲加熱后發(fā)射電子，電子與氣體分子碰撞，使氣體分子電離，離子在孔電極組成的加速電場(chǎng)中不斷加速后進(jìn)入四極桿分析器中；對(duì)兩對(duì)極桿施加直流電壓與高頻電壓，并保持一定的電壓幅值比值；然后，在某一特定的電壓和頻率下，那時(shí)只有一種質(zhì)量的離子可以通過(guò)，其余則不能；也就是說(shuō)當(dāng)電壓低時(shí)，低質(zhì)量的離子在四極場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)軌跡穩(wěn)定，且運(yùn)動(dòng)軌跡幅度小于四極場(chǎng)半徑，故低質(zhì)量的離子可以通過(guò)四極場(chǎng)空間，其余無(wú)法通過(guò)；根據(jù)這一特點(diǎn)，分析過(guò)程中，直流電壓與高頻電壓由小逐漸變大時(shí)，由小到大質(zhì)量不同的離子，會(huì)依次通過(guò)分析器達(dá)到收集極，這一過(guò)程就稱之為質(zhì)量掃描；后根據(jù)可以根據(jù)收集極離子流的變化，判斷各種氣體的成分和相對(duì)比例。這就是四極質(zhì)譜計(jì)的簡(jiǎn)單工作原理。
因?yàn)樗臉O質(zhì)譜計(jì)在一個(gè)特定的電壓與頻率下工作時(shí)，只允許一種質(zhì)量的離子通過(guò)，因此也被稱為四極濾質(zhì)器。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、分辨率與靈敏度良好、調(diào)整和操作方便、工作壓強(qiáng)范圍寬、響應(yīng)快等特點(diǎn)。在殘余氣體分析中，也可用于氣體檢漏，后期螺桿真空泵廠家會(huì)繼續(xù)介紹四極質(zhì)譜計(jì)在檢漏中的應(yīng)用方法。
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