上海添時科學儀器有限公司
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產品型號OTF-1200X-50Ⅱ4CV-PE-MSL
品 牌
廠商性質其他
所 在 地上海市
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更新時間：2022-10-08 09:21:44瀏覽次數：271次
聯(lián)系我時，請告知來自 包裝印刷網OTF-1200X-50-1I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國進口的無油泵。此款PECVD對于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。
產品特點：
•與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞；
•可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果；
•爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內形成溫度梯度，兩個溫區(qū)溫差為400℃；
•帶有預熱爐，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。
加熱爐參數：
•連續(xù)工作溫度為1100℃
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；兩個溫區(qū)溫差為：400℃
•內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。
•工作電源：208-240V AC單相，功率：4KW
電動滑軌：
•可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果
•滑動速度：0-70 mm/s（可調）
升降溫速率：
• RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買)
•為獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區(qū)
射頻電源：
真空系統(tǒng)：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)（可選）：
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
產品尺寸和重量：
爐體尺寸：550mmL-380mmW-520mmH
滑軌長度：1750mm
凈重：220Lbs
質保：
一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
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