YAMATO等離子清洗機PR1000

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更新時間：2023-02-16 09:41:25瀏覽次數(shù)：400次

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浚和（上海）儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

高頻等離子表面處理裝置。

■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 純凈石英腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

■ 安全性·保護
● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
● 發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調(diào)低頻率來保護發(fā)生器。
● 門鎖開關(guān)：門在未關(guān)閉時無法啟動電源。
● 側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時，會停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
● 運行中ERR報警：運行中出現(xiàn)以下問題設(shè)備會出現(xiàn)ERR報警，并停止裝置：RF輸出值與設(shè)定值不符，氣體流量值與設(shè)定值不符，RF反射波超過一定范圍，真空度未達到設(shè)定值，等離子處理后，設(shè)定時間內(nèi)，未恢復(fù)到大氣壓。

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。

規(guī)格：

型號		PR1000
方式		DP模式、圓柱形腔體
性能	發(fā)生器功率：	0-1000W
	發(fā)生器頻率：	射頻RF13.56Mhz
	發(fā)生器匹配方式：	自動匹配（Auto matching)
構(gòu)成	腔體材質(zhì)：	石英
	腔體內(nèi)尺寸：	φ400×L500mm 約62.8L
	反應(yīng)氣體：	雙路工藝氣體，其中一路可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體，一路防腐蝕氣路支持CF4.
	填充氣體：	一路氮氣
	控制方式：	全自動控制，7寸液晶觸摸屏
	真空度顯示：	測量高真空的電離式真空計標準配備，實時顯示腔體內(nèi)真空度
	配管材質(zhì)：	SUS不銹鋼以及特氟龍
	門：	鉸鏈門
	涂裝顏色：	標準色，白系
	外形尺寸：	W800×D919×H1958mm （高度含警報燈）
	真空泵：	無油干式真空泵抽速60m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25
	電源規(guī)格：	3phase AC200V 50/60Hz 8A
	重量：	約215kg
附屬品		真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚

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