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行業(yè)產(chǎn)品

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北京金盛微納科技有限公司


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RIE-3反應(yīng)離子刻蝕機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間：2023-07-03 09:34:41瀏覽次數(shù)：206次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：27條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：林平

產(chǎn)品簡介

本產(chǎn)品通過物理與化學(xué)相結(jié)合的方法，對很細的線條（亞微米以下）進行刻蝕以形成精細的圖形

詳細介紹

本產(chǎn)品通過物理與化學(xué)相結(jié)合的方法，對很細的線條（亞微米以下）進行刻蝕以形成精細的圖形。

詳細描述

本設(shè)備具有選擇比較好、刻蝕速度較快、重復(fù)性好、性價比較高等特點?？煽涛g的材料主要有Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等。

本設(shè)備主要用于微電子、光電子、通訊、微機械等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造。


產(chǎn)品主要性能指標(biāo)

型號

RIE-3

真空系統(tǒng)

分子泵機組

刻蝕室數(shù)量

單室

刻蝕室規(guī)格

?300×100mm

電極尺寸

?200mm

刻蝕材料

Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等。

刻蝕速率

0.1 – 1 μ/min （與刻蝕材料和工藝有關(guān)）

刻蝕不均勻性

≤±5%

操作方式

手動




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