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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司


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URE2000/17光刻機(jī)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時間:2023-07-03 13:44:32瀏覽次數(shù):435次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:1.曝光面積:4英寸 2.曝光波長:365nm 3.分辨力:1.5um(膠厚2 um的正膠)4.對準(zhǔn)精度:±1um。...

詳細(xì)介紹

1.技術(shù)參數(shù)

1曝光面積:4英寸

2曝光波長:365nm

3 分辨力:1.5um(膠厚um的正膠)

4對準(zhǔn)精度:±1um

5 掩模樣片整體運(yùn)動范圍:X15mm;Y:15mm

6掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

7樣片尺寸:直徑f15mm-- f100mm 

                    厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)

8曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量

9照明不均勻性: 5%f100mm 范圍)

10雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)倍數(shù)400倍,光學(xué)+電子放大800

物鏡三對:4倍、10倍、20

目鏡三對:10倍、16倍、20

11掩模相對于樣片運(yùn)動行程:

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6

12汞燈功率:200W(直流)

13曝光能量密度:6mW/cm

2.外形尺寸:650mm(長)600mm(900mm(高)

3.配置

3.1. 曝光頭

1200W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

2 XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

3光學(xué)系統(tǒng)

4冷卻風(fēng)扇

3.2. 對準(zhǔn)工件臺

1掩模樣片整體運(yùn)動臺

2掩模樣片相對運(yùn)動臺

3轉(zhuǎn)動臺

4樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),手動

5樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),手動

6承片臺3個(f50mm 、?75mm 、 ?100mm  

7掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

8掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

3.3. 對準(zhǔn)顯微鏡

9光源(配備品2只)、電源

10雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

11目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)

12物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)

13CCD(中國臺灣)

1421寸液晶顯示器

3.4. 電控系統(tǒng)

1汞燈觸發(fā)電源(200W直流汞燈)

2單片機(jī)控制系統(tǒng)

3控制機(jī)箱 

3.5. 氣動系統(tǒng)

1氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

2電磁閥驅(qū)動

3氣動儀表 

3.6. 其他附件

1真空泵一臺

2管道

3.7. 技術(shù)資料

1使用維修說明書

2顯微鏡使用說明書

 

 



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