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蘇州天弘激光股份有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
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所 在 地蘇州市
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更新時(shí)間:2024-08-08 15:13:45瀏覽次數(shù):180次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)此設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓、GPP晶圓的劃線切割以及T VS晶圓的劃線切割 。
產(chǎn)品特點(diǎn):
» 劃片速度快,效率高,成片率高
» 非接觸式加工,無(wú)機(jī)械應(yīng)力,芯片質(zhì)量高
» CCD 快速定位功能,實(shí)時(shí)同軸監(jiān)視或旁軸監(jiān)視功能
» 高精度二維直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái),高精度DD旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
» 大理石基臺(tái),穩(wěn)定可靠,熱變形小
» 劃線工藝專家系統(tǒng)
» 高可靠性和穩(wěn)定性
» 配備自動(dòng)裂片設(shè)備,操作簡(jiǎn)便效率高
規(guī)格參數(shù):
設(shè)備型號(hào) | TH-5212 | TH-5221 | TH-5210 |
激光類型 | 紅外 IR | 紅外 IR | 紫外 UV |
激光波長(zhǎng) | 1064nm | 1064nm | 355nm |
激光功率 | 20w/30w | 20w/30w | 5w/10w/17w |
加工晶圓尺寸 | 5 inch(可兼容 6inch) | 4 inch | 4 inch |
劃線速度 | 150mm/s、200mm/s | 150mm/s、200mm/s | 30mm/s、60mm/s、100mm/s |
劃線線寬 | 35~45μm | 40~50μm | 20~30μm |
劃線線深 | < 120μm(視材料而定) | 50 -120μm | 50-100μm |
系統(tǒng)定位精度 | ±5μm | ±5μm | ±5μm |
重復(fù)定位精度 | ±2μm | ±2μm | ±2μm |
激光器使用壽命 | 10 萬(wàn)小時(shí) | 10 萬(wàn)小時(shí) | 1.2 萬(wàn)小時(shí) |
設(shè)備尺寸 | 960*730*1740mm | 960*730*1740mm | 960*730*1740mm |
整機(jī)重量 | 660kg | 660kg | 660kg |
樣品展示:
晶圓正切樣品
晶圓正切樣品
電機(jī)定子焊接樣品
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