益處

• 設(shè)計(jì)緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間
• 易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標(biāo)配兩個設(shè)定點(diǎn)
• 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
• 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
• 兩年保修服務(wù)，優(yōu)良的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長了使用壽命
• 優(yōu)良的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性
• 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)：CE

典型應(yīng)用

• 用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
  
  
  

  規(guī)格

  類型		1000 Torr, 1100 mbar	500 ... 1 Torr / mbar
  精度 (1)	% of reading	0.15	0.15
  溫度效應(yīng)
  零點(diǎn)	percent FS/°C	0.0025	0.0025
  滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01
  壓力，更大	kPa (absolute)	400	260
  分辨率	percent FS	0.003	0.003
  更低讀數(shù)	percent FS	0.01	0.01
  建議的更低讀數(shù)	percent FS	0.05	0.05
  建議的更低控制壓力	percent FS	0.5	0.5
  溫度
  運(yùn)行（環(huán)境）	°C	+10 … +40	+10 … +40
  在法蘭處烘烤	°C	≤110	≤110
  貯存	°C	–20 … +65	–20 … +65
  電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
  功耗
  加熱時	W	≤12	≤12
  運(yùn)行溫度	W	≤8	≤8
  輸出信號（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
  反應(yīng)時間 (2)	ms	30	30
  保護(hù)等級		IP 40	IP 40
  標(biāo)準(zhǔn)
  CE 合規(guī)		EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
  ETL 認(rèn)證		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
  SEMI 合規(guī)		SEMI S2	SEMI S2
  電氣連接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
  設(shè)定點(diǎn)
  設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
  繼電器觸點(diǎn)		≤30	≤30
  滯后	percent FS	1	1
  診斷端口
  協(xié)議		RS232-C	RS232-C
  讀數(shù)		pressure, status, ID	pressure, status, ID
  設(shè)置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
  暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
  內(nèi)部容積
  內(nèi)部容積 1/2'' 管	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  內(nèi)部容積 DN 16 CF-R	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  內(nèi)部容積 8 VCR®	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  重量
  重量 1/2'' 管	g	837	837
  重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
  重量 DN 16 CF-R	g	875	875
  重量 8 VCR®	g	897	897
  EtherCAT
  協(xié)議 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
  通訊標(biāo)準(zhǔn)		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
  數(shù)據(jù)率	Kbps	100000	100000
  節(jié)點(diǎn)地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
  物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
  數(shù)字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
  數(shù)字功能設(shè)置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
  過程數(shù)據(jù)		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
  郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
  EtherCAT 連接器		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
  電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
  電纜長度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)

  (1) 25 °C 環(huán)境溫度時非線性、滯后、可重復(fù)，運(yùn)行 2 小時后不產(chǎn)生溫度效應(yīng)。

  (2) 增加 10 … 90 % FS  

  (3) 僅適用于壓力控制類型

  (4) 18% 鉻，10% 鎳，3% 鉬，69% 鐵