奧坤鑫（蘇州）機電科技有限公司
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更新時間：2024-11-28 12:53:02瀏覽次數(shù)：61次
聯(lián)系我時，請告知來自 包裝印刷網(wǎng)編號項目技術參數(shù)1機臺整機規(guī)格1900mm(W)times;1300mm(D)times;1900mm（H）2真空室規(guī)格進口合金鋁1300(W)×1000(H)×1350(D) mm3電極板規(guī)格13層平板式電極板（870mmtimes;610mm）4控制系統(tǒng)PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制5真空測定系統(tǒng)皮拉尼電阻式真空計6氣體計量系統(tǒng)精確質量流量控制計MFC7氣體路數(shù)2mdash;5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O28等離子發(fā)生器10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可···
編號 | 項目 | 技術參數(shù) |
1 | 機臺整機規(guī)格 | 1900mm(W)×1300mm(D)×1900mm（H） |
2 | 真空室規(guī)格 | 進口合金鋁 1300(W)×1000(H)×1350(D) mm |
3 | 電極板規(guī)格 | 13層平板式電極板（870mm×610mm） |
4 | 控制系統(tǒng) | PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制 |
5 | 真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼電阻式真空計 |
6 | 氣體計量系統(tǒng) | 精確質量流量控制計 MFC |
7 | 氣體路數(shù) | 2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
8 | 等離子發(fā)生器 | 10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz） |
9 | 工作氣體 | 2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2 |
特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術支持。 | ||
用 途：適用于印制線路板行業(yè)，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 | ||
1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。 2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗 3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化 | ||
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