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招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司

等離子清洗機(jī),等離子刻蝕機(jī),等離子噴槍,等離子發(fā)生器,等離子處理機(jī)

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GDR-20PR真空等離子清洗機(jī)

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  • 招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司
  • 2015-11-08 10:47:31
  • 煙臺(tái)市
  • 山東省招遠(yuǎn)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)招金路518號(hào)
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【簡(jiǎn)單介紹】

臺(tái)式小型機(jī),PLC人機(jī)自動(dòng)控制,簡(jiǎn)單易用,用于實(shí)驗(yàn)室及小批量工業(yè)生產(chǎn)中材料表面清洗、

刻蝕、活化等工藝。

【詳細(xì)說(shuō)明】

外形尺寸

570W)×420(D)×740(H)mm

  倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(不銹鋼,約20升)

 420(W)×270(D)×170(H)mm 

電極面積

  250(W) ×190(D) mm,3層  

  清洗模式

 RIE or DP模式自動(dòng)轉(zhuǎn)換

  等離子發(fā)生器(韓國(guó)KM)

 頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配

  控制系統(tǒng)

 觸摸屏(7寸)+PLC單步法全自動(dòng)控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件,

性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式

  真空系統(tǒng)

德國(guó)萊寶(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥,德國(guó)(Inficon)壓力傳感器

  壓力控制

PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制

   氣路系統(tǒng) 
 2路工藝氣體+1路氮?dú)馀渲?,電子質(zhì)量流量計(jì)、針閥,美國(guó)飛托克(FITOK)氣體管路
    
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