產(chǎn)品展示
GDR-20PR真空等離子清洗機(jī)
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(不銹鋼,約20升)
420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 電極面積
250(W) ×190(D) mm,3層
◆ 清洗模式
RIE or DP模式自動(dòng)轉(zhuǎn)換
◆ 等離子發(fā)生器(韓國(guó)KM)
頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配
◆ 控制系統(tǒng)
觸摸屏(7寸)+PLC單步法全自動(dòng)控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件,
性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)
德國(guó)萊寶(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥,德國(guó)(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制
PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制
◆ 氣路系統(tǒng)
2路工藝氣體+1路氮?dú)馀渲?,電子質(zhì)量流量計(jì)、針閥,美國(guó)飛托克(FITOK)氣體管路
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