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招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司

等離子清洗機,等離子刻蝕機,等離子噴槍,等離子發(fā)生器,等離子處理機

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GDR-60G等離子去光阻機

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  • 招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司
  • 2015-10-12 00:04:22
  • 煙臺市
  • 山東省招遠(yuǎn)市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)招金路518號
  • 610

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【簡單介紹】

采用電感耦合高密度等離子體(ICP),能快速去除晶圓上之殘留光阻,達(dá)到晶圓表面潔凈,具有蝕刻率高,無電極污染,離子能量低,不損傷基板等優(yōu)點。

【詳細(xì)說明】

設(shè)備外形尺寸(不包括報警燈)

650(W)×900(D)×1600(H)mm

 ◆ 合金鋁真空倉體(約100升)

 450(W)×450(D)×450(H)mm

 ◆ 電極結(jié)構(gòu)

外置電感耦合電極

 ◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)

 頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護,可連續(xù)長時間工作

 ◆ 控制系統(tǒng)

  PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件,性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)

 日本愛發(fā)科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)

  中國臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器         

 ◆ 充氣系統(tǒng)

 美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(四路氣體配制)

  美國世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥

  日本SMC及CKD高真空氣閥組件

    
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