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招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司

等離子清洗機，等離子刻蝕機，等離子噴槍，等離子發(fā)生器，等離子處理機

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微波等離子清洗機

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  • 招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司
  • 2015-12-02 00:00:10
  • 煙臺市
  • 山東省招遠(yuǎn)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)招金路518號
  • 816

我要詢價

【簡單介紹】

WB300采用高密度微波等離子技術(shù)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理，微波等離子高度活性、高效，且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。 　

【詳細(xì)說明】

  • ◆ 外形尺寸（不包括報警燈）

     1000（W）×800（D）×1750（H）mm 

  •  ◆ 倉體結(jié)構(gòu)（石英，約20升）

  • Φ 245mm ×400Lmm  
  • ◆ 等離子發(fā)生器（德國）

     頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),可連續(xù)長時間工作

     ◆ 控制系統(tǒng)

    觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

     ◆ 真空系統(tǒng)（真空壓力PID閉環(huán)自動控制）

     英國愛德華斡旋式干泵 GV40

    美國MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器     

     中國臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管 

     ◆ 充氣系統(tǒng)

     美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計（2路氣體配制）

     美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

     日本SMC及CKD高真空氣閥組件

     
 

    
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