銳峰先科技術有限公司
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FlexTRAK™ FlexTRAK™-S
FasTRAK™
FlexTRAK™ 2MB
FlexTRAK™ CD FlexTRAK™ CDS | Nordson MARCH TRAK系列氣體等離子清潔設備提供了理想的處理均勻性和工藝一致性.
TRAK系列等離子系統(tǒng)在一個可以配置的平臺上提供了優(yōu)秀的等離子處理質量和自動化，為半導體和電子封裝領域實現了高產出率的等離子處理和等離子清洗方案。等離子腔體根據腔體組件和電極配置不同，有能力處理介電質刻蝕工藝、光刻膠處理/灰化、氧化物去除、有機污染清潔和表面活化。 TRAK 系統(tǒng)支持手動和自動操作（在線或內置式的取放裝置）、SMEMA和SECS/GEM通訊協(xié)議，遠程用戶界面。通用性、較好的均勻性、和緊湊的腔體設計允許可互換的處理配置和等離子模式——直接、下游和IFP（無離子）等離子處理選項。
三軸對稱的等離子腔體確保產品的所有位置可以被均勻的處理，同時嚴格的控制所有工藝參數，確保從產品到產品得到可重復的結果。 ? TRAK 的小等離子腔體容量和等離子處理控制使得理想的循環(huán)周期成為現實，同時它的纖細結構減少了占地面積。 ? TRAK的通用構架可以覆蓋各種各樣的產品形式因素，包括舟、載具、Jedec/Auer舟、條帶、疊層材料、晶圓等。 ? 根據產品的產量和需求，系統(tǒng)能夠配置用于處理從彈夾-彈夾的單條和多條帶、引線框架、晶圓處理，獨立式機臺用于孤島式生產環(huán)境。 ? TRAK's SMART 調諧管理系統(tǒng)提供了閉環(huán)等離子控制，可以優(yōu)化射頻系統(tǒng)和最小化調諧時間。系統(tǒng)會自動地重新循環(huán)到等離子準備狀態(tài)，以及對真空壓力變化、溫度和不同批量的補償。 特點和優(yōu)勢 ? 較好的應用靈活性，可用于直接、下游和無離子（）等離子，允許非暴露在粒子和UV下的處理。 ? 容易集成為用于不同工藝的設備，包括引線鍵合、芯片粘接、點膠、塑封和印字。 ? 纖細的結構，只需要較小的占地面積，所有維護組件都能夠很容易的從設備前方進入 ? 緊湊、三軸對稱腔體和工藝控制用于良好的工藝均勻性 ? 較高的生產能力，較短的循環(huán)周期 型號和配置 FlexTRAK™ 等離子系統(tǒng)：標準配置可以滿足*的半導體和電子封裝行業(yè)對于等離子清洗和等離子處理的要求。
FlexTRAK™-S 等離子處理系統(tǒng)：特別設計用于處理大尺寸基板，這個型號有大容量的等離子腔體，9.24升，是標準FlexTRAK容量的兩倍。
FasTRAK™ 等離子處理系統(tǒng)：全自動、高產量。這一等離子處理系統(tǒng)用于引線框架條帶、層壓基板、其它條狀微電子元件。因為程序是軟件驅動的，并且系統(tǒng)只需要較少的工具和硬件互動就可以容易的更換新彈夾或條帶尺寸。
FlexTRAK™ 2MB 等離子處理系統(tǒng)：設計用于高產量、在線處理微電子器件在舟、托盤或其它載具上的傳輸；用于倒裝芯片 Underfill(FCUF)工藝預處理的理想設備。良好的舟旁路功能優(yōu)化生產力，多在線等離子模塊兒和生產就緒型雙軌舟物料處理增加了產能。
FlexTRAK™ CD 和 FlexTRAK™ CDS 等離子處理系統(tǒng)：設計用于高產量處理引線框架、條帶、層壓基板、其它條狀微電子元件。CD 型每個循環(huán)可以處理多達5條產品，如果是選擇更長的等離子腔體則每個循環(huán)可以處理多達10條產品。完成處理后的產品會被返回到同一個彈夾內；對于不同的運輸方式，參考 FasTRAK 系統(tǒng)。
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