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首昂光電（上海）有限公司


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86式皮帶傳片勻膠機

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所  在  地上海市

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更新時間：2023-08-30 09:36:04瀏覽次數：192次

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所在地區(qū)：上海上海市

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產品簡介

產品介紹：1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護

詳細介紹

產品介紹：

1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）傳片方式通過皮帶傳動。

3）主軸使用高速伺服電機，帶數字顯示，精確控制轉速。

4）自主設計開發(fā)薄膜式的噴膠泵，出膠穩(wěn)定，自帶回吸，保證了定量滴膠，可節(jié)省光刻膠用量。

5）設置靈活，多功能。通過一鍵設置，可將自動滴膠轉換為手動滴膠。

6）熱板控溫精確，自帶超溫保護系統(tǒng)，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便硅片烘烤。


                  轉速                       6000RPM


                 轉速精準度                    ≤1-4%RPM


     勻膠     滴膠手臂控制                  步進馬達       


                 滴膠頭位置精準               ≤0.2mm


該設備為全自動上下料勻膠設備，主要應用于3-5寸方形晶圓涂膠、烘干，采用標準片盒收放片，自動運行。該設備為單軌道形式，上料、涂膠、烘干、取料。


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