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等離子表面清洗儀-Tergeo

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  等離子清洗儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SEM/TEM樣品/樣品桿等離子表面清洗儀TergeoTergeo多功能等離子清洗儀集樣品/樣品桿清洗、拋光、表面處理與一體

詳細(xì)介紹

SEM/TEM樣品/樣品桿等離子表面清洗儀Tergeo

Tergeo多功能等離子清洗儀集樣品/樣品桿清洗、拋光、表面處理與一體，具有高速清洗與無(wú)損清洗兩種模式，操作更簡(jiǎn)單！

等離子清洗儀又稱等離子表面處理設(shè)備，Tergeo等離子清洗儀集樣品/樣品桿表面清洗、拋光、處理與一體，操作簡(jiǎn)單，具有高速清洗、無(wú)損清洗兩種模式。

產(chǎn)品用途

應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品型號(hào)

適用于SEM/TEM樣品/樣品桿表面清洗、拋光及表面改性處理等

樣品表面污染物處理；碳網(wǎng)、薄膜樣品、生物樣品等的清洗

Tergeo Basic

Tergeo Plus

Tergeo-EM

**產(chǎn)品功能特點(diǎn)**
1. 高速清洗和無(wú)損清洗模式，根據(jù)樣品隨意切換
	等離子高速清洗模式樣品室中充滿等離子體，樣品被等離子體包圍。等離子體中的原子與樣品表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，同時(shí)等離子中帶有能量粒子濺射樣品表面，樣品通過(guò)化學(xué)反應(yīng)及物理濺射完成清洗。該模式可以快速清洗，適用于快速光刻膠除塵、拋光、樣品表明處理
	等離子無(wú)損清洗模式等離子體產(chǎn)生于樣品室外，樣品與等離子體無(wú)接觸。樣品表面僅與等離子體產(chǎn)生的原子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，無(wú)濺射損傷。該模式適用于碳網(wǎng)、聚合物、生物樣品等敏感的樣品。
2. 脈沖清洗模式
	脈沖清洗模式低負(fù)荷循環(huán)脈沖模式可顯著降低樣品表面的等離子強(qiáng)度，避免樣品表面的損壞
3. 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體強(qiáng)度
	實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子清洗強(qiáng)度 Tergeo內(nèi)置的等離子傳感器，實(shí)時(shí)顯示等離子強(qiáng)度。用戶可根據(jù)等離子強(qiáng)度來(lái)調(diào)節(jié)氣體流速及射頻能量。用戶可根據(jù)樣品來(lái)設(shè)定差異化的參數(shù)，滿足多種樣品的清洗需求

**效果展示**
嚴(yán)重污染的物鏡	清洗10min后
清洗前	清洗后

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